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钨丝-CVD钨复合材料制备及性能分析

马捷 , 李辉 , 魏建忠 , 王从曾

稀有金属材料与工程

采用自制实验装置,通过化学气相沉积钨过程中间断缠绕钨丝,得到钨丝-CVD钨复合材料.测试分析了材料的密度、成分及显微硬度;通过压溃试验计算出钨复合材料的压溃强度,通过拉伸试验和三点弯曲试验分别绘出拉伸和弯曲曲线.实验结果表明,化学反应温度控制在550℃,WF6和H2流量分别控制在2g/min和l L/min时,可得到没有孔洞的致密涂层.与相同工艺条件下不缠钨丝CVD钨样品相比,钨丝-CVD钨复合材料仍具有较高的纯度、致密度,显微硬度大致相同,而压溃强度、抗拉强度和抗弯强度大大提高.

关键词: 钨丝 , CVD钨 , 复合材料 , 力学性能

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