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闫刚印 , 刘静 , 王继刚
材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.18.007
在相同SiO2悬浮液浓度下,采用改进的双基片垂直沉积法成功制备了不同膜厚的SiO2光子晶体薄膜.研究发现,通过调节两基片间夹层厚度可以很好地控制样品薄膜厚度,不同厚度SiO2光子晶体的表面形貌也有一定的变化.
关键词: 光子晶体 , 自组装 , 蛋白石结构 , 双基片垂直沉积
闫刚印 , 杭联茂 , 孟江 , 赵亚妮 , 何磊
硅酸盐通报
自组装制备是一种常用的三维光子晶体制备方法,在制备光子晶体过程中影响薄膜质量的因素较多.本研究对原始的双基片垂直沉积法进行了一定的改进,控制光照强弱、蒸发速度快慢等条件,沉积了不同的SiO2光子晶体薄膜样品.通过与单基片垂直沉积法得到的薄膜样品进行比较,得到了双基片垂直沉积法沉积光子晶体薄膜样品的最优实验条件.
关键词: 光子晶体 , 自组装 , 双基片垂直沉积
