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超声物理气相沉积法制备 (00l) 取向 HgI₂ 膜的研究

苏青峰 , 史伟民 , 王林军 , 李东敏 , 夏义本

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00261

超声波作用下, 采用热壁物理气相沉积法在相对较低温度下(<90℃)成功制备了(00l)取向多晶碘化汞膜, 分析了超声工艺对(00l)取向多晶碘化汞膜质量的影响. 采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)对(00l...

关键词: 碘化汞膜 , polycrystalline , physical vapor deposition , ultrasonicwave