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模具钢微细蚀刻的侧蚀研究及其工艺优化

黄红光 , 郭钟宁 , 王冠

表面技术

目的 研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律.方法 设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证.结果 侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小.侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50 μm,蚀刻时间为2min.结论 加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度.验证性试验证明最优工艺方案可行.

关键词: 模具钢 , 微细蚀刻 , 侧蚀量 , 正交实验

基于块体理论的碎裂矿段底部结构空间的稳定性

胡建华 , 杨春 , 周科平 , 李杰林 , 高峰

中国有色金属学报(英文版) doi:10.1016/S1003-6326(16)64305-4

底部结构是地下矿山规模开采的重要工程结构和爆破补偿空间。在碎裂矿段的地下采矿过程中,对底部空间的块体结构和三维岩石楔体开展稳定性分析是采矿成功的关键。楔体的稳定性主要由地质因素(包括底部结构与楔体的工程尺寸、形状和空间位置)、产生楔体结构的不连续面的剪切强度和抗拉强度以及岩体应力分布控制。应用Unwedge软件,设计横断面夹角、底部结构走向和倾角3因素、5水平的正交试验,获得底部结构的优化设计参数。研究结果表明:地下空间的安全系数为1.2,底部结构的参数优化由爆破块度、水流方向和设备爬坡能力决定;楔体的稳定性根据块体形状和连续冒落进行分析;优化参数为断面夹角27°、走向315°~325°、倾角5°,满足底部结构空间块体安全稳定性要求,是合理优化的设计参数。

关键词: 楔体稳定性 , 碎裂矿段 , 底部结构 , Unwedge软件 , 优化

垂直线不良分析与改善

张光明 , 白金超 , 曲泓铭 , 张益存 , 于凯

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173205.0352

针对栅极绝缘层和栅极引线接触处形成过孔倒角造成的一种垂直线不良进行分析和改善.研究气相沉积、干法刻蚀和磁控溅射对过孔倒角的影响,通过扫描电子显微镜对过孔形貌进行表征,并用成盒检测设备检测不良发生情况.实验结果表明:通过过孔刻蚀功率、气压、气体流量的变更可以消除倒角现象,垂直线不良由1.4%降为0.7%.

关键词: 垂直线不良 , 倒角 , 过孔

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