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PZT/ZnO薄膜制备及其结构特性研究

陈祝 , 聂海 , 杨成韬 , 杨邦朝

功能材料

利用固相反应制备的ZnO-Li_(2.2%)陶瓷靶和RF射频磁控溅射技术在Si(100)基片上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,XRD和电性能分析表明掺杂Li离子改善了ZnO靶材的结构和性能,同时研究了不同RF溅射温度对ZnO薄膜结构与取向的影响;然后采用sol-gel前驱单体薄膜制备方法,以Zn...

关键词: 氧化锌薄膜 , 射频磁控溅射 , 择优取向 , PZT薄膜